RBDLA系列双轴精密线轨运动台的产品特点;叠层紧凑的中空外形结构,留出.大的工作空间,并将总高度保持在小,光栅反馈接近于工作表面,重复定位精度可达±0.5um,通过这种优化设计,从而获得的性能和较低成本。双驱动结构;非接触式设计提供了高速和准确的定位,比滚珠丝杆结构的位移台在性能有了大的提升,电机免维护和命使用。的控制驱动算法,保证了双电机的运行的一致性。集成式线缆管理;精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中影响到运动台的性能。使用高质量的无尘链拖线缆,尽量增长使用寿命,减少停机时间,同时设备外观整洁,创造个良好的作业环境,是洁净室内使用的理想选择。如需了解多,欢迎来电咨询!!! RBN150系列三轴精密运动台的产品特点;1非接触式直驱结构驱动;2抗蠕动交叉滚柱导轨导向;3百纳米级定位精度;4纳米级微动步距;5高动态性能;6结构可接受定制;背景介绍;RBN150系列是我们研发出的一款百纳米级精度的三轴精密运动台,具有纳米级微动步距,百纳米级定位精度,高动态性能,结构紧凑,应用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。设计特点;采用非接触式直线直驱电机驱动,非常适合要求高精度的需求,其不会与性磁铁发生不良反应,在低速运行时也能保持平稳,在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱是线接触,比滚珠接触面积大,工作时比较平稳;交叉排列,多方向受力时比较稳定;该结构可以把平台高度降低,结构紧凑,减小阿贝误差的影响。非接触式光栅闭环反馈,优化考虑热膨胀的设计,这种紧凑是结构设计,在有限的空间内具有鲁棒性和准确度,获得重复定位精度±75nm,微动步进5nm.Z轴采用低摩擦气缸配重,有效的提升了垂直方向上的性能。精密控制;配合业界上主导的控制器和驱动器相结合,可提供优异的伺服性能、的控制算法,从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。定制化设计;可定制用于真空环境下的版本。根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。如需了解多,欢迎来电咨询!!! QFL100系列气浮直线台的产品特点;1非接触式气浮结构;2高直线、平面度指标3微动步进10nm4精密光栅尺闭环反馈5外观结构紧凑6可搭配各轴使用。背景介绍;QF100系列是目前国内性能的气浮直线台,可作为单轴使用,或根据应用与其它轴组装成系统,广泛应用于精密加工,测试测量,扫描、半导体及光子学等行业。非接触式结构;采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统,确保免维护运行。因为运动元件间没械接触,随着时间的推移,不会出现磨损或性能下降,使用寿命几乎是无限的,气浮导轨不需要润滑,只需要清洁及干燥的气体,是用户应用的理想选择。高精度指标;气浮导轨基于气体动静压效应,实现无摩擦和无振动的平滑移动,与摩擦式导轨相比,气浮直线台的直线度、平面度,Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高,同时由于非接触式,伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃,定位精度和重复精度得到了显著提高。定制化;可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨,提升精度性能。行程可接受定制。如需了解多,欢迎来电咨询!!! QFL3D系列三轴气浮运动台的产品特点;气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。定制化设计;根据用户实际应用,可以选择单轴,双轴,三轴等多种结构,如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构,双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到小,各轴也可以定制化,保证精度性能。线缆优化管理;经过多年的研究,线缆管理对精指标度有影响,我们精心优化管线弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能,使用高质量的电缆,以确保无故障操作,减少停机时间。同时使设备外观整洁,创造良好的作业环境。洁净室兼容性;气浮轴承本质上与洁净室环境兼容,高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。如需了解多,欢迎来电咨询!!!